感温磁性体を用いた3自由度平面アクチュエータ

構成と基本特性

抄録

著者らは，感温磁性体と永久磁石，加熱用レーザを組み合わせ，ワイヤレスで協調動作に適したマイクロマニピュレータの実現を目指している．これまでに複数の駆動ユニットを設計・試作し，特性評価を行ってきた．しかし小型化，簡単化のためには単一のアクチュエータで多自由度運動を実現することが望ましい．本報では，3自由度平面アクチュエータを設計・試作し，その基本特性を調べた結果について報告する．