プリント技術によるAu/アミノエタンチオール積層ナノ振動子の作製とガスセンサへの応用

抄録

微細加工基板へAu薄膜をトランスファプリント（TP）して，長さ300µm，幅150µm，厚さ300nmのナノ振動子を作製した．さらに，同ナノ振動子へアミノエタンチオール（AET）をインクジェット成膜し，エタノールに特異吸着を示すガスセンサの感応膜とすることに成功した．同構造は，静電容量を測定することにより電気的特性を，電圧印加による静電駆動で振動させることから，機械的特性や振動特性を調査した．