精密工学会学術講演会講演論文集
2023年度精密工学会春季大会
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高分子電解質膜を用いた電気化学インプリントの開発
アルカリエッチングの併用による微細構造制御
*山﨑 克真松田 竜樹村田 順二
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p. 739

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抄録

表面の微細構造は光学特性、摩耗特性、生体適合性などを改善する。われわれは高分子電解質膜をスタンプとして用いた新たな電気化学インプリント技術を開発している。本研究では、微細構造を形成した高分子電解質膜を用い、その構造の酸化膜を Si などの無機材料表面へ転写することを試みた。また、酸化膜を利用したアルカリエッチングを行うことで材料表面に微細構造を形成したので報告する。

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© 2023 公益社団法人 精密工学会
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