両面研磨における加工物上面への研磨液供給経路の検討

抄録

加工物の上下両面を同時に研磨する両面研磨において，研磨特性に直結すると考えられる加工物上面への研磨液の供給経路を検討した．供給経路として想定される，上定盤に形成された研磨液供給孔から直接滴下と，キャリア上の研磨液の浸入の各供給経路を限定した研磨実験を行い，各経路の効果を加工物上面の研磨レートに基づき評価した．その結果，両経路とも加工物上面の研磨に関与することを明らかにした．