主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2023年度精密工学会春季大会
開催地: 東京理科大学
開催日: 2023/03/14 - 2023/03/16
金沢工大 工学研究科 機械工学専攻
金沢工大 工学部 機械工学科
フジミインコーポレーテッド 株式会社フジミインコーポレーテッド
p. 784-785
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CMPは各種基板製造の最終工程を担うが，スラリー中の砥粒が基板へ行う直接的な研磨作用はパッド，砥粒，基板の種類により複雑な関係があり，解明されていない部分が多い．本研究では，樹脂のCMPにおいて4種類のアルミナ系スラリーを使用した際のスラリー流れを高速度カメラで観察し，当該流れの可視化を目的とする．本報告では研磨性能，並びにスラリー流れの関係を考察した結果について述べる．
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