精密工学会学術講演会講演論文集
2023年度精密工学会春季大会
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CMPにおけるプレストン係数分布の可視化
*橋本 洋平佐藤 拓実鈴木 教和安田 穂積山木 暁望月 宣宏
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p. 790-791

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抄録

CMPにおける研磨レート推定の一因子であるプレストン係数は,多くの場合ウェハ面内で均一分布と仮定されている.本報では,研磨レート分布の推定精度向上を目指し,ウェハ非回転条件における研磨レート分布の実測値と,相対速度分布と研磨圧力分布の推定値により,プレストン係数のウェハ面内分布を可視化した.その結果,可視化されたプレストン係数は均一分布でなく,スラリ流動の影響を受けた分布となることを確認した.

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© 2023 公益社団法人 精密工学会
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