主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2023年度精密工学会春季大会
開催地: 東京理科大学
開催日: 2023/03/14 - 2023/03/16
p. 790-791
CMPにおける研磨レート推定の一因子であるプレストン係数は,多くの場合ウェハ面内で均一分布と仮定されている.本報では,研磨レート分布の推定精度向上を目指し,ウェハ非回転条件における研磨レート分布の実測値と,相対速度分布と研磨圧力分布の推定値により,プレストン係数のウェハ面内分布を可視化した.その結果,可視化されたプレストン係数は均一分布でなく,スラリ流動の影響を受けた分布となることを確認した.