イオンビームアシスト蒸着によるCrN薄膜の摩擦摩耗特性

福田 将也; 鈴木 庸久; 藤井 達也; 野村 光由; 関根 崇; 菅原 靖; 杉山 重彰

doi:10.11522/pscjspe.2024A.0_361

2024年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2024A.0_361

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2024年度精密工学会秋季大会

開催地: 岡山大学

開催日: 2024/09/04 - 2024/09/06

イオンビームアシスト蒸着によるCrN薄膜の摩擦摩耗特性

*福田将也, 鈴木庸久, 藤井達也, 野村光由, 関根崇, 菅原靖, 杉山重彰

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キーワード: イオンビームアシスト蒸着, 硬質薄膜, 窒化クロム, 摩擦摩耗特性

会議録・要旨集認証あり

p. 361-362

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抄録

本研究では，密着性に優れた薄膜を成膜できるイオンビームアシスト蒸着により，摩擦係数が低く，潤滑性に優れている窒化クロム（CrN）薄膜を作製した．本報では，成膜速度を制御することで，組成違いのCrN薄膜を超微粒超硬基板上に成膜し，スクラッチ試験により超微粒超硬基板に対する薄膜の密着性，硬さ試験より機械的特性，摩擦試験によりSUJ2に対する摩擦特性を明らかにした．

責任著者(Corresponding author)

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