ロール-トゥ-ロール装置におけるベイズ最適化を用いた自律探索システムの構築

第2報：外乱を許容するベイズ最適化手法の開発

抄録

成膜プロセスに利用されるロール-トゥ-ロール加熱装置は現象が複雑なので、最適パラメータの効率的な探索にはベイズ最適化の導入が考えられている。しかし、従来のベイズ最適化は未制御の要因による外乱のある環境では有効に働かない。そこで本研究では外乱を許容したベイズ最適化システムを新たに開発した。結果、従来のベイズ最適化と比較して同じ実験回数で目標温度分布をより精度よく達成するパラメータを推定できた。