広帯域光周波数コム散乱分光による表面トポグラフィ計測に関する基礎的研究（第9報）

波長と散乱電場のフーリエスペクトルとの相関を利用した散乱電場の補正

抄録

数 nmから数十 µmの3次元微細加工において，ロバストかつ広いダイナミックレンジをもつ表面トポグラフィ計測が求められている．本研究では，光周波数コムを光源とし，複数の波長に対するサンプル表面の散乱電場を用いた形状計測手法を提案している．本報告では，散乱電場のフーリエスペクトルから波長との相関がある空間周波数成分を抽出することで，散乱電場を補正し，より正確に表面トポグラフィを計測した．