非接触輪郭形状測定機を用いたマイクロプローブ先端球の計測

第2報　精密ゲージを用いた直径及び形状偏差計測との比較

抄録

本研究では，直径0.1mm未満のプローブ先端球の直径と形状誤差をnm精度で評価するために，非接触輪郭形状測定機を用いたプローブ球測定に取り組んできた．本研究では非接触輪郭形状測定機によるマイクロプローブ球測定の妥当性を検証するために，スリット及びピンホールを用いて測定した直径及び形状偏差と比較し，測定不確かさの算出に取り組んだ．