3×3正方形配置センサユニットを用いた平面形状測定：第2報

形状測定用デバイスの設計

抄録

3×3の格子点上に9つの測定点を配置した多点法平面形状測定用MEMSデバイスの構造を設計し、これを基に製作を試みた。このデバイスは幅1mm長さ8.5mmのカンチレバー（梁）式変位計による形状計測を行う。測定点間距離を５mmに設定し平面上に梁を配置する場合、格子と梁が平行な状態では互いに干渉する問題を、格子を15度傾け隙間に梁を通すことで解決した。