固体表面の微細探針による摩擦力測定

抄録

摩擦力顕微鏡 （FFM） を用いることにより，固体表面間に働く水平方向の相互作用を測定することが可能である．シリコンの滑らかな平面と微細探針が接触したときの摩擦力をFFMにより測定した．100nN以下の範囲で垂直荷重を変化させてフリクションカーブを測定することにより，摩擦力が巨視的な摩擦力よりも大きくなることがわかった．また，測定環境を大気中と真空中で行い，環境湿度の影響についても検討した．