精密工学会学術講演会講演論文集
2024年度精密工学会春季大会
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光学式圧力標準におけるファブリ・ペロ共振器の熱膨張変形の軽減
*武井 良憲寺田 聡一吉田 肇尾藤 洋一
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p. 250-251

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抄録

気体の屈折率から圧力を求める光学式圧力標準を開発している。1Pa や 100Pa などの低真空を測る際には、ファブリ・ペロ共振器(長さ50mm)の0.1pm レベルのわずかな熱膨張変形が課題であった。変形量軽減のために、次のことを行った;①共振器の設置の仕方の改善 ②チラーを替えることにより温度安定性の向上 ③チャンバ材質と治具変更により温度分布の改善。熱シミュレーションによる検討結果と実験結果を発表する。

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