主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2024年度精密工学会春季大会
開催地: 東京大学
開催日: 2024/03/12 - 2024/03/14
p. 250-251
気体の屈折率から圧力を求める光学式圧力標準を開発している。1Pa や 100Pa などの低真空を測る際には、ファブリ・ペロ共振器(長さ50mm)の0.1pm レベルのわずかな熱膨張変形が課題であった。変形量軽減のために、次のことを行った;①共振器の設置の仕方の改善 ②チラーを替えることにより温度安定性の向上 ③チャンバ材質と治具変更により温度分布の改善。熱シミュレーションによる検討結果と実験結果を発表する。