変調周波数10MHzをもつ正弦波位相変調干渉計用のフィールドプログラマブルゲートアレイ・ロックインアンプの開発

抄録

本研究室では，サブnm以下の分解能をもつ変位計測法として正弦波位相変調干渉計を検討している．この研究では，10MHzの変調周波数をもつ正弦波位相変調干渉計を構築する．120 MHz/16 bitのADコンバータを持つフィールドプログラマブルゲートアレイ（FPGA）でロックインアンプを実現し干渉計の復調を行う．あわせてプレフィルタとしてコムフィルタを干渉計システムに組込み性能評価を行う．