WGM共振を利用した微小球の直径計測（第18報）

球表面のWGM定在波強度分布測定

抄録

マイクロCMMプローブ球の直径を高精度に計測するため，WGM共振を利用した球直径計測法を提案している．WGMモード番号推定法を検証するため，球表面に沿ってSNOMプローブを走査する角度モード番号測定法を提案している．本報では画像処理によってSNOMプローブの回転中心を探して，微小球中心とプローブ先端を回転中心に位置合わせした上で定在波WGMの信号取る．次に定在波のピッチを計算して角度モード番号を推定する．