光学的空間周波数フィルタリングを用いたレーザ逆散乱法によるうねり計測に関する研究

抄録

光学素子表面のうねりは周期が長く，3次元に広がるため正確に除去することが難しい．そこで，うねりの除去工程を制御するためのインプロセス計測技術が求められている．本研究では，レーザ逆散乱法において光学系で空間周波数フィルタリングを行うことで，うねりのみを計測する手法を提案する．本報告では，周期100 µmのうねりと周期10 µmの粗さを持つ表面形状から，うねりのみを計測可能であることを実験的に明らかにした．