精密超音波研磨に関する基礎的研究―第7報―

小径軸付砥石に対するトランケーション法の検討

抄録

本研究では，研磨方向と直交方向に超音波振動する砥石により，超音波振動研磨することの効果について検討している．既報において，トランケーションにより，砥粒突出し高さを揃えた砥石により極低速研磨することで，各種の難削材において，表面粗さ精度が向上することを明らかにしてきた．本報では，前報で検討したラッピングフィルムの他にPCDラップを用いたラッピングによるトランケーション特性について調べた．