正弦波位相変調干渉計を用いたインプロセス計測手法の開発（第2報）

計測範囲向上に向けた計測条件の影響調査

抄録

加工精度向上には加工中の誤差を取り除く必要がある．旋削加工では，主に取付時のずれや工作物の逃げにより発生する．加工中に形状計測が可能なインプロセス計測により誤差への対応が可能である．本研究では，非接触かつ高分解能の正弦波位相変調干渉計と位相計による計測手法を用いたインプロセス計測手法を提案する．本報告では，旋削加工における丸棒の輪郭誤差計測と計測範囲向上のための計測条件の影響調査について報告する．