共焦点光学系による自家蛍光検出を用いた幾何形状計測（第3報）

吸光モデルに基づく表面位置推定

抄録

近年複雑化・高アスペクト化が進む精密部品の形状を高精度に計測可能な手法が求められている。一般に応答信号の取得が難しい急峻な鏡面にも適用可能な計測原理として、本研究では広範囲に広がる自家蛍光に着目し、これを共焦点検出する手法を提案する。本報では蛍光の自己吸収による減衰を考慮したモデルを構築し、信号から表面位置を推定する。実験の結果、集光角に近い斜面においても1µm未満の残差での計測可能性が示された。