暗視野偏光回転情報を用いた微細構造検出白色干渉法に関する研究

抄録

マイクロ生産工学の発展に伴いさらなる微細構造評価技術の開発が求められている．本研究では暗視野偏光回転情報を用いた白色干渉計の基礎概念を提案する．微細構造を持つ試料が干渉を利用した観察によってコントラストが向上することを確認し白色干渉計のサブミクロン構造の観察への適用性を示した．また直線偏光の方向によって形状測定結果に違いが生じることを明らかにし，提案手法の高感度微細構造測定としての有用性を示した．