精密工学会学術講演会講演論文集
2024年度精密工学会春季大会
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過酷環境下にて動作する高安定アライメントモニターの開発 (第4報)
絶対測長干渉計評価光学系の適用可能性の確認
*久米 達哉三部 勉道畑 正岐高橋 哲
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p. 297-298

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抄録

我々は,高磁場,真空の過酷環境下にて安定して動作可能なアライメントモニターを開発している.ここではその構成単位となる絶対測長干渉計の真空下における動作確認に用いる基準干渉計との比較測定による評価光学系と,高磁場中における動作確認に用いるゲージブロックを基準とする評価光学系の適用可能性を確認するため,それぞれによる光パルス間隔評価値を,光周波数コムとの干渉信号より得られる基準光パルス間隔と比較した.

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