近接場光散乱レンズの開発

波面制御による光散乱抑制

抄録

製品の精密化に伴い、ものづくりにおける微細化・高集積化の技術発展が求められている。レンズによる集光機能は計測や加工、操作とあらゆる場面で利用されるが回折限界による制約が存在する。そこで我々は近接場光を微細構造によって散乱させ、波面を制御することで回折限界を超える集光性能を実現させるレンズを提案した。今回は波面制御による光散乱抑制の結果について報告する。