マルチチャンネルゴーストイメージングを用いた外観検査法

抄録

散乱の異方性により，特定の照明および検出条件でのみ検出可能な欠陥の存在のため，試料の散乱特性に依存しない撮像法が求められている．本研究では，小型な検出器により，検出器の設置自由度および感度が高いゴーストイメージングに着目し，複数角度から散乱光を計測し，再構成した画像から法線マップを測定することで，欠陥を検出する手法を提案する．本報告では，形状により散乱の異方性を持つ試料を用いた実験結果を示す．