光周波数コムを用いたパルスピーク間位相差検出による絶対距離計測の高速化

抄録

工作機器，測定器の作成，検査において数m単位の高精度かつ高速な距離計測が必要である．本研究では，光コムを光源としてマイケルソン干渉計を組み，検出される数十MHzのパルスを電気的な正弦波信号と同期させ参照側と計測側でパルス間隔の位相差を高精度に計測し距離計測を行う手法を提案する．パルス間隔は実空間で数mとなり，また参照ミラーの移動が不要なため長いレンジを位相の不確かさなく高速に計測することが期待される．