フィルム中の金属微粒子を検出するマイクロ波帯空洞共振器

抄録

樹脂フィルム中に含有される金属微粒子は重大な欠陥となりうるが、これらのフィルム搬送中に検知できる非磁性金属微粒子検査装置の検出下限は200μm程度である。今回、金属微粒子により共振周波数が大きく変化する空洞共振器内に、検出対象のフィルムを通過させることにより、フィルム上にある直径50μmの非磁性金属微粒子を検知することができる技術を開発した。