主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2024年度精密工学会春季大会
開催地: 東京大学
開催日: 2024/03/12 - 2024/03/14
p. 421
ミラーを用いた結像型X線顕微鏡は,高効率かつ色収差無くX線像を取得できる.更なる高分解能化にむけて,形状可変ミラーを用いたアダプティブ顕微鏡を開発しているが,顕微鏡の光学収差を計測することは困難である.この問題を解決するために,深層強化学習に基づき,顕微鏡像の変化から,形状可変ミラーの変形形状を最適化できる手法を開発した.