Advanced Kirkpatrick-Baezミラーを用いた走査結像型X線顕微鏡の開発

永松 篤弥; 山田 純平; 薬師川 惇; 竹内 晃久; 上杉 健太郎; 藤 大雪; 佐野 泰久; 矢橋 牧名; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2024S.0_422

2024年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2024S.0_422

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2024年度精密工学会春季大会

開催地: 東京大学

開催日: 2024/03/12 - 2024/03/14

Advanced Kirkpatrick-Baezミラーを用いた走査結像型X線顕微鏡の開発

*永松篤弥, 山田純平, 薬師川惇, 竹内晃久, 上杉健太郎, 藤大雪, 佐野泰久, 矢橋牧名, 山内和人

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キーワード: X線顕微鏡, イメージング

会議録・要旨集フリー

p. 422-423

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抄録

走査・結像型X線顕微法は，1次元の集光素子および結像素子を用いたラインスキャン光学系により，比較的短時間で吸収・微分位相像の同時取得が可能なイメージング手法である．我々はAdvanced Kirkpatrick-Baezミラー光学系に基づく走査・結像型X線顕微鏡を開発し，高スループットおよび色収差の無い高分解能マルチモーダルイメージングの実現を目指している．本講演では，SPring-8にて行った吸収・微分位相像の同時取得や，試料面内回転計測による高分解能像再構成の結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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