高分解能ホログラフィイメージング実現のための多層膜ミラーの開発

抄録

我々はX線sub-10nm集光において，タイコグラフィに基づく高精度な複素波動場評価法を開発してきた．本手法はX線in-lineホログラフィの照明波動場の既知化に応用でき，アーティファクトの低減や空間分解能の向上を実現する．本発表では，タイコグラフィで求めた集光波動場を援用したin-lineホログラフィ結果や，次世代放射光での実装へ向けて開発している高精度多層膜集光ミラーの作製技術について述べる．