色収差の無いX線 sub-10 nm 集光のための極薄形状可変ミラーの開発 薄板型形状可変ミラーの試作

上山 冬馬; 井上 陽登; 吉水 純弥; 松山 智至

doi:10.11522/pscjspe.2024S.0_427

2024年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2024S.0_427

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2024年度精密工学会春季大会

開催地: 東京大学

開催日: 2024/03/12 - 2024/03/14

色収差の無いX線 sub-10 nm 集光のための極薄形状可変ミラーの開発

薄板型形状可変ミラーの試作

*上山冬馬, 井上陽登, 吉水純弥, 松山智至

著者情報

キーワード: 形状可変ミラー, 圧電素子

会議録・要旨集フリー

p. 427

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抄録

X線を色収差無く 10nm 集光するためには，全反射ミラーのみで大開口数化を実現しなければならない．この問題を解決するために，多数の薄板ミラーを並べた新規光学配置を考案している．この光学系を実現する最も重要な課題は，高い形状精度を有する薄板ミラーを作製することにある．そこで本研究では，圧電素子を用いた厚み 100µm 以下の形状可変ミラーを開発した．

責任著者(Corresponding author)

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