イオンビームアシスト蒸着によるシェーパー加工ツールへのCrN薄膜の形成

抄録

本研究では、密着性に優れた薄膜を成膜できるイオンビームアシスト蒸着により摩擦係数が低く、潤滑性に優れるCrN薄膜を成膜し、薄膜の密着性、膜厚の均一性、切削性、摩擦摩耗特性を調査した。スクラッチ試験により超微粒超硬基板に対するCrN薄膜の密着性、刃先観察より膜厚の均一性を明らかにし、CrN薄膜を成膜したシェーパー加工ツールを用いて切削試験を行うことで、CrN薄膜の切削性、摩擦摩耗特性を明らかにした。