エバネッセント光を応用した超微粒子洗浄現象の実時間観察に関する研究

第7報：デフォーカスを利用した近接光場領域外の超微粒子の高さ位置測定の試み

抄録

ウェハ洗浄において基板表面への超微粒子の再付着防止は必要不可欠である。これまで、表面極近傍に発生するせん断流れで剥離して移動した超微粒子挙動（移動位置）の3次元計測を行っているが、表面局在光では超近接の浮遊粒子に限った観測であったため、暗視野観察法と併用する必要がある。そこで、移動粒子の浅深位置測定に十分な縦分解能が得られるよう、本稿では円筒レンズを用いたデフォーカスの活用を試みたので報告する。