小型研削加工機へのAEセンシングの適用

抄録

マイクロ生産機械システムにおいては，工作機械のみならず工作物も小型となり，加工点の現象が微視的となるため，その加工状態の認識は困難を極める．本研究では，材料の変形・破壊の際に生じる弾性応力波を計測するアコースティックエミッション（AE）センシングを活用し，小型研削加工機における加工状態監視を試みた．単結晶ダイヤモンドの加工実験から，接触検知の感度比較，砥石ドレス有無の影響や加工品位の評価について検討した結果を報告する．