アクリル板と水のみによる原子レベル平坦化加工法

抄録

偶然にも、アクリル表面に研磨に適した化学的特性があることを発見した。その特性を利用し、アクリル板と水のみによる原子レベルでの平坦化加工法に取り組んでいる。原理的に低環境負荷な加工法であり、アクリル板と水しか用いていないので加工条件の最適化も簡素化できる。本講演では、その開発経緯、加工特性、加工メカニズム、今後の展開について講演する。