純アルミニウムの表面に及ぼすNa2SO4電解還元水のエッチング作用

佐藤 運海; 川久保 英樹

doi:10.11522/pscjspe.2024S.0_766

2024年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2024S.0_766

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2024年度精密工学会春季大会

開催地: 東京大学

開催日: 2024/03/12 - 2024/03/14

純アルミニウムの表面に及ぼすNa₂SO₄電解還元水のエッチング作用

*佐藤運海, 川久保英樹

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キーワード: 純アルミニウム, 電解還元水, エッチング作用, 浸漬実験, 溶存酸素

会議録・要旨集フリー

p. 766-767

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抄録

本研究では，精密デバイスに多く使用されている純アルミニウム表面に及ぼすNa₂SO₄電解還元水のエッチング作用について実験検討を行った．まず，NaOH溶液，H₂SO₄溶液および電解酸化水との比較実験によって，電解還元水はエッチング作用が強いことを明らかにした．さらに，浸漬開始からのエッチングレート変化により，エッチング作用における電解還元水とNaOH溶液との相違を解明した．

責任著者(Corresponding author)

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