小径ダイヤモンド電着砥石のトランケーション評価方法の検討

抄録

トランケーションとは，砥石上に固定された砥粒先端を平坦化し，砥粒突き出し高さを揃える方法である．われわれは，粗粒ダイヤモンド電着砥石を用いた硬脆材料の高精度研削の実現を目指し，粗粒ダイヤモンド砥石の切れ刃トランケーション手法の開発を進めている．本研究では，トランケーション前後の砥石作業面の評価方法について，微分干渉顕微鏡による画像データ，レーザー顕微鏡による砥石作業面形状測定データを使ったトランケーション評価法について報告する．