金属/固体電解質界面の電解反応メカニズムの探索と鉄系材料の微細加工への応用

抄録

鉄系材料のマイクロ・ナノ加工は触媒や生体材料，センサーなど多様な分野で使用されている．従来，パターン形成にはフォトリソグラフィやレーザー加工が用いられているが，加工工程が複雑なことや分解能が低いことが課題である．そこで，本研究では金属材料と固体高分子電解質膜の界面における電気化学反応のメカニズムを探索した．さらに，固体高分子電解質膜を用いた電解反応を鉄系材料の微細加工に適用した．