主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2025年度精密工学会春季大会
開催地: 千葉工業大学
開催日: 2025/03/17 - 2025/03/19
p. 74-75
本研究では、微小球の球径を高精度に計測するため、WGM共振を用いた球径計測手法を提案する。本報では、球径の計算に必要となる伝搬モードの一つである半径モードを推定するため、定在波で励起させたWGMの表面光強度ピークの間隔をSNOMプローブによって測定し、事前に測定した球径と組み合わせることで半径モード番号を一意に定める手法を提案し、提案手法を実験によって検証した。