精密工学会学術講演会講演論文集
2025年度精密工学会春季大会
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WGM共振を利用した微小球の直径計測(第19報)
球表面光強度の空間周期を用いた半径モード推定
*菅井 岳琉LIU YUSHEN増井 周造道畑 正岐高橋 哲
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会議録・要旨集 認証あり

p. 74-75

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抄録

本研究では、微小球の球径を高精度に計測するため、WGM共振を用いた球径計測手法を提案する。本報では、球径の計算に必要となる伝搬モードの一つである半径モードを推定するため、定在波で励起させたWGMの表面光強度ピークの間隔をSNOMプローブによって測定し、事前に測定した球径と組み合わせることで半径モード番号を一意に定める手法を提案し、提案手法を実験によって検証した。

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