回折スケール格子の高精度ピッチ偏差評価に関する研究

測定レーザビーム径の影響

抄録

複数の光学式角度センサをもとに回折光の回折角変動を検出し，得られた角度出力の演算によりスケール走査の回転運動誤差およびスケール形状誤差の影響を低減した形態でピッチ偏差を評価する手法では，光学ヘッドの感度がピッチ偏差検出分解能に直接影響する．本報では，光学ヘッドの感度の揺らぎがピッチ偏差検出に及ぼす影響を数値解析計算で評価した結果とともに，市販スケールを用いた実験的検討を試みた結果を報告する．