半導体プロセスにおけるエッチング特性の最適化 －混合実験の効果的適用－

抄録

半導体製造プロセスでは,気体や液体の混合比によって特性が定まるような行程が数多くあり,特性値の評価のためには,それらの混合による実験,すなわち混合実験を実施する必要がある.混合実験では,直交表による実験とは異なる計画ならびに解析法が要求され,現在までのところ応用例の報告はさほど多くない.本報告では,半導体プロセスにおけるドライ・エッチングに対し,コンピュータを用いた混合実験の計画および解析を効果的に行った事例を紹介する.