RIけい光X線分析における幾何学的条件 (第2報) ―線源-試料-検出器の最適な配置に対する理論的解析―

抄録

RIけい光X線分析における, 最適な幾何学的配置 (線源, 試料, 検出器の形状および配置) を求める目的で, いろいろな大きさの線源と試料との場合における特性X線強度の線源と試料との位置に対する依存性を計算で求め, 実測値と比較検討した。すなわち, 試料表面上のある点で発生して, 検出器で検出される特性X線の強度FIPを幾何学的効率G (=Ω/4π) と一次線の強さFおよび検出器窓の見える部分の割合RA (線源ホルダー等の影にならない部分) との積に比例するものとして計算した。FIPを積分して求めた特性X線強度FIDの線源と試料との位置に対する依存性は実測値とよく一致した。