LSI故障解析技術(<特集>故障の診断・解析評価・予測)

抄録

我々は9つの技術から成る故障解析統合システムを開発してきた。このうち3つの技術を紹介する。RAMのメモリセルの故障原因を特定するエキスパートシステム、ロジックLSIおよびRAMの周辺回路の故障箇所を特定する電子ビーム電位像を用いた技術である。すでに多くの故障に対して広く適用されている。