Al-Cu多層配線のタングステンプラグでのエレクトロマイグレーション

日本信頼性学会誌　信頼性

Online ISSN : 2424-2543
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Al-Cu多層配線のタングステンプラグでのエレクトロマイグレーション

河崎尚夫

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ジャーナルフリー

1997 年 19 巻 4 号 p. 281-288

DOI https://doi.org/10.11348/reajshinrai.19.4_281

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© 1997 日本信頼性学会

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