積層圧電セラミックアクチュエータの寿命時間の評価

抄録

積層型圧電セラミック・アクチュエータは, 内部電極を印刷した厚さが10〜20μmの圧電体を積み重ねた構造をしており, 低電圧駆動, 小型, 軽量 耐衝撃性などの特徴を持っているため, 各方面で応用されている.その場合, 印加される電圧は30〜60Vであるが, 圧電体体が10〜20μmと薄いので, 電界としては非常に高くなる.そのため, 高電界を印加した場合の信頼性の検討が必要になる.積層圧電セラミックアクチュエータの寿命時間を評価する方法を紹介する.