抄録
ID_DDQ(Quiescent Power Supply Current)異常はLSI内部に物理的欠陥が存在することを知らせるシグナルである.このシグナルは欠陥箇所を介して電源端子より電流異常として検出される.本文はこの現象を用いたCMOS-LSIのテスティング,故障解析,および診断方式の研究動向について述べるものである.まず,テスティングはこのシグナルを電源端子より検出することでLSIの異常と判定する方式である.故障解析は異常電流に起因する物理現象をLSI全体から観察し発生箇所を検出する方式である.そして,故障診断は論理情報とI_DDQ異常を伴うテストベクタ番号を用いてソフトウェア上で異常発生箇所を特定する方式である.さらに,この診断技術は製造ライン上の致命的欠陥箇所特定に適用される.
