日本酸素（株）
1983 年 22 巻 3 号 p. 163-168
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シランの消費量は近年の半導体の進歩と発展に伴い急速に増加しつつある．シランは特異な性質を持ち，その取扱いを一つ誤まると災害につながるおそれがある、本稿ではシランの物性と安全な取扱いについて，初歩的でしかも保安の基本である事柄について概略紹介する．
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