半導体製造における排水排ガスの処理と安全対策

抄録

半導体産業では，従来の産業ではあまり使われることのなかった有害で危険性の高い化学物質が多種多様の形態で利用されており，それらによる新たな環境問題の発生が懸念されている．洗浄工程から生じる排水，特に有機系排水およびウェーハ処理工程で用いられる特殊材料ガスに基づく排ガスの処理を中心に工場周辺での実態調査の結果もまじえて述べる．事故災害の未然防止，不測の場合の被害拡大防止のための安全対策についても言及する.