優先度つき複数サーバ待ち行列網に対するＭＶＡ法とウェハ製造への応用

抄録

半導体ウェハ製造工程は，リエントラントフローショップとよばれる複雑なシステムである．そのため，しばしば待ち行列網に近似して性能評価が行われる．本論文では，閉待ち行列網の待ち時間を求める方法の一つであるMVA法を，複数サーバを持つ優先度付き待ち行列に拡張し，特急ジョブがシステムに与える影響を評価する．さらに，岩田らにより提案されているコスト評価法と組合せ，特急ジョブのコスト評価を行う．