抄録
弾性表面波(SAW)フィルタはバンドパス特性を持ち、その周波数特性は圧電体や電極の材質のほか、圧電体の基板上に作られるすだれ状電極(IDT)の形状や配置に支配される。SAWフィルタの最適設計では、IDTのモデル化誤差や加工誤差、材質のバラツキなどがその周波数特性に及ぼす影響を考慮して設計する必要がある。そこで本稿では、ロバスト設計手法のひとつであるタグチメソッドで用いられるSN比を目的関数とし、求められるSAWフィルタの機能を制約条件として、ロバスト設計問題を制約条件付き最適化問題として定式化する。そして、ペナルティ関数法に基づく、遺伝的局所探索法によって解く。