半導体生産ラインにおける待ち時間と段取り替え時間の比較による生産性向上のためのシステムデザイン

抄録

リエントラントフローショップ方式で工程を処理していく特徴がある半導体生産ラインのモデルを作成する。作成したモデルにおける枚葉装置の生産ラインとバッチ装置の生産ラインに投入するロット数を変化させ、サイクルタイムを求める。そのサイクルタイムを待ち時間と段取り替え時間の比較によって評価する。