半導体プラズマチャンバー用インピーダンスマッチングシステムの非線形同定

抄録

本発表では,半導体プラズマ製造装置に用いられるインピーダンスマッチングシステムの非線形同定について報告する．このシステムは動的線形部と静的非線形部の直列結合で表現され,このようなシステムの同定に適しているMinimum Norm Methodを用いることにより,本システムの非線形同定を行う．